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半导体设备是较为精密的仪器，搬运前一定要做好搬运方案以及设备防护。
如果搬运入口较小，可向甲方了解设备特性是否可以将半导体设备放倒或拆卸，进入入口后，用龙门架将设备回正。
确认地面高度，如需将设备抬起，尽量使用平台将半导体设备吊起。
搬运路线铺好均压钢板，防止单点受力将地面压坏。
确认设备定位位置地面是否加固，防止设备定位好以后将地面压坏，从而造成设备倾倒或歪斜。
注意事项：
搬运前需确认好半导体设备尺寸以及搬运入口尺寸，搬运距离，如有台阶，需确认台阶高度等各方面数据，做好危险源排查以及应急预案。
半导体设备进入无尘室之前做好无尘处理
搬运过程中如果需要上下台阶，可用平台将半导体设备吊起，尽量不使用机动叉车。因为半导体设备一般都需要搬入无尘车间内，以免机动叉车排出的废气污染车间或设备。
地面保护措施：对半导体设备搬入路线的地面铺好均压钢板，做无尘处理。方便半导体设备的搬入及定位。
搬运方式：所有操作工人均需穿着无尘服作业，作业前做好无尘处理，用气垫、液压叉车等工具进行搬运。
